三晶体多轴联动同步辐射X射线荧光光谱仪

• 作者: 单新治 朱泽玮 王颖 贾星伟 隋国荣
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线荧光光谱仪 高分辨率荧光光谱仪 三晶体 多轴联动 EPICS系统
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: X射线光学
• 页码范围: 2878-2888
• 页数: 11页
• 分类号: O434.13|O722.8
• 字数: 7618字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172511.2878

摘要

针对上海光源X射线吸收精细结构光谱仪对灵敏度和分辨率的要求,研制了三晶体多轴同步辐射X射线荧光光谱仪.其采用一台双晶单色器提供实验X射线,用3块凹面晶体构成系统主体色散结构,并在竖直平面内组成相交的罗兰圆实现荧光分析,可实现10°范围内的布拉格角变化.光谱仪通过高精度控制驱动设备使位移平台实现了3块晶体的4轴联动和总台的2轴联动,其中对位移平台的各轴精度达到了单步长移动25nm,可以实现高分辨率的三维扫描工作.编写了探测器的驱动软件,提高了驱动器的测试灵敏度和分辨率.最后,利用国际通用的实验物理控制系统——EPICS(Experiment Physics and Industrial Control System)完成了整个系统软件的设计,实现了系统各部分的精确控制、自动测量、数据分析和结果显示与存储等功能,构成了一套完整的基于同步辐射光源的高精度高分辨率X射线荧光光谱分析系统.采用钴元素作为测试样品进行了分析实验,结果显示:该光谱仪单次测量时间小于1.5s,测试精度达到0.4eV,分辨率为0.1 eV.光谱仪可以完成对样品荧光的采集和分析,操作时间、精度、分辨率和重复性等性能指标均优于现有国内、外设备,目前已成功应用于上海光源XAFS线站的各项科学实验中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋国荣	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	52	164	6.0	10.0
2	朱泽玮	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	3	5	1.0	2.0
3	王颖	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	6	38	2.0	6.0
4	单新治	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	10	8	1.0	2.0
5	贾星伟	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	3	5	1.0	2.0