多能氦离子注入对W金属微结构的影响

• 作者: 刘翔 卢晓波 张元元 王康 邓爱红 龚敏
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: W He 正电子湮没 空位型缺陷
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 70-76
• 页数: 7页
• 分类号: TG146.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.11900/0412.1961.2016.00266

摘要

利用SEM和慢正电子束分析(SPBA)方法研究了不同注量的多能氦离子注入和注氦后不同温度退火的多晶W中He相关缺陷的演化机制.结果表明,W材料中由多能氦离子注入引入的空位型缺陷数目随着He+注量的升高而增大;220℃退火引起注氦W样品中的间隙W原子与空位的复合,降低了材料中的空位型缺陷数目;450℃和650℃退火的注氦W材料中形成了He泡,He泡尺寸与退火温度有关,650℃退火的样品中观测到直径达600nm的大尺寸He泡和孔洞结构.