新型激光材料加工专利大幅提升SiC生产率

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 激光材料加工 生产率 专利 SIC 材料加工技术 SCO公司 材料损耗 无定形
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 38-38
• 页数: 1页
• 分类号: TG665

摘要

日本DISCO公司的科学家们使用一种称为关键无定形黑色重复吸收（key amorphous-black repetitive absorption, KABRA）的专利和正在申请专利的激光材料加工技术，可以将碳化硅（SiC）晶圆的生产率提升到原来的四倍，并且在提高产量的同时减少材料损耗。