能量过滤磁控溅射技术制备TiO2薄膜光学性能的均一性研究

• 作者: 吴丹 夏雨 姚宁 赵遵杰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 能量过滤磁控溅射 直流磁控溅射 TiO2薄膜 均一性
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 689-692
• 页数: 4页
• 分类号: O469
• 字数: 1420字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.07.08

摘要

采用直流磁控溅射(DMS)和能量过滤磁控溅射(EFMS)技术在玻璃衬底上制备TiO2薄膜.利用扫描电子显微镜、X射线衍射、椭圆偏振光谱仪等对薄膜的性能进行表征和分析.结果表明EFMS技术制备的TiO2薄膜在较大面积上结晶性能以及光学性能的均一性均得到改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院	122	692	12.0	18.0
2	吴丹	郑州大学物理工程学院	16	32	3.0	4.0
3	夏雨	郑州大学物理工程学院	4	6	2.0	2.0
4	赵遵杰	郑州大学物理工程学院	4	6	2.0	2.0