基于单次全反射椭球单玻璃管X射线聚焦镜表征光源参数

• 作者: 刘志国 姜博文 孙天希 孙学鹏 张丰收 张晓芸 朱玉 李坊佐 王亚冰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 单次全反射椭球单玻璃管 X射线聚焦镜 X射线光源 焦斑尺寸 焦深
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: X射线光学
• 页码范围: 2872-2877
• 页数: 6页
• 分类号: O434.12
• 字数: 2087字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172511.2872

摘要

为了正确表征X射线光源参数,本文利用单次全反射椭球单玻璃管X射线聚焦镜,设计了一种测量X射线光源焦斑尺寸和焦深的方法.该方法利用椭球单玻璃管X射线聚焦镜具有单次全反射成像能力的特点,对多个已知焦斑尺寸的多毛细管X光透镜模拟光源的焦斑成像尺寸和椭球聚焦镜的面形误差进行表征,从而确定光源焦斑尺寸和经过椭球聚焦镜后的焦斑成像尺寸以及椭球聚焦镜的面型误差之间的通用数学关系.然后,通过分析待测光源焦斑经过椭球聚焦镜所成像的尺寸来得到被测量光源的焦斑尺寸.利用该法也同样可以得到光源焦深的大小.为了验证设计方法的可行性,测量了实验室微焦斑X射线光源的焦斑和焦深参数.测试显示:对于焦斑直径约为50μm、焦深约为20 m m的光源,文中方法得到的算术平均值标准偏差分别为1.5μm和0.7mm.结果表明:本文设计的光源参数表征方法可以实现对微焦斑源焦斑尺寸和焦深的同时测量,在X射线源的研制和应用领域具有潜在应用.