基于一维PSD的位移测量系统研究

• 作者: 张彩凤 张志伟 张文静 李庆圣 蔡睿博 邓楠 郭鹏程
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 位置敏感传感器 单片机 数据采集 位移测量 上位机
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 1956字
• 语种: 中文

摘要

介绍了位置敏感传感器(Position Sensitive Detector,PSD)的基本原理及特性,设计了一种基于一维PSD探测器的位移测量系统.针对PSD只与光的能量重心有关、光敏面无死区、可连续测量光斑位置的应用特点,设计了PSD后续的信号处理电路及上位机显示系统.单片机(MCU)通过ADS7825UB采集PSD输出的位置信息,经过处理后由USB接口传给上位机,上位机控制面板可控制数据采集,并进行位移值显示,从而完成对位移的测量.实验结果表明,测量分辨率可达0.1 μm,测量误差在±6μm内,可在位移测量领域推广使用.