多脉冲飞秒激光烧蚀中反射率的变化对激光烧蚀阈值影响的研究

• 作者: 吴金随 胡德志
• 来源期刊: 华北科技学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双温方程 反射率 烧蚀阈值 时域有限差分法 电声弛豫时间
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 57-61
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 2744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7169.2017.04.012

摘要

为了提高飞秒激光微加工的精度,研究了多脉冲飞秒激光烧蚀积累效应形成的机理.以铜靶为例,利用时域有限差分法(FDTD)对双温方程进行求解,得到了电子、离子亚系统温度及激光烧蚀阈值随反射率变化的规律.结果表明:在多脉冲激光烧蚀中前一个脉冲激光破坏了靶材表面的结构,使激光的反射率下降,导致后一脉冲激光烧蚀阈值大幅度下降.这解释了多脉冲飞秒激光烧蚀中烧蚀阈值不断变化的现象.同时,它表明在多脉冲飞秒激光加工过程中,我们必须考虑反射率的变化对激光烧蚀的影响才能实现高精微加工.