能量过滤磁控溅射制备TiO2薄膜的光催化性能研究

• 作者: 吴丹 夏雨 姚宁 潘志峰 赵遵杰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 能量过滤磁控溅射 直流磁控溅射 光催化 TiO2薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 685-688
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1584字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.07.07

摘要

利用能量过滤磁控溅射(EFMS)技术制备了TiO2薄膜,并利用X射线衍射、扫描电镜和紫外-可见分光光度计分析了薄膜的结构、形貌和对RhB溶液的光催化效率.研究表明:与直流磁控溅射技术相比,EFMS技术制备的TiO2薄膜的晶粒尺寸更小,表面更加平整,紫外光照射2 h后,其光催化效率提高了1.5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院	122	692	12.0	18.0
2	潘志峰	郑州大学物理工程学院	28	33	2.0	5.0
3	吴丹	郑州大学物理工程学院	16	32	3.0	4.0
4	夏雨	郑州大学物理工程学院	4	6	2.0	2.0
5	赵遵杰	郑州大学物理工程学院	4	6	2.0	2.0