基于鼓包法的PbZr0.52Ti0.48O3/Ni薄膜材料力电磁耦合特性测试分析

• 作者: 于泽军 何元东 刘奇 孙长振 徐浩 方岱宁 毛卫国 裴永茂
• 来源期刊: 现代应用物理
• 学科: 物理学
• 关键词: PZT/Ni 鼓包法 多场耦合 弹性模量 矫顽场
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚态物理和材料科学
• 页码范围: 67-75
• 页数: 9页
• 分类号: O484
• 字数: 4935字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12061/j.issn.2095-6223.2017.010801

摘要

通过溶胶-凝胶法、离子束磁控溅射法和化学腐蚀法分别制备了PZT薄膜、PbZr0.52Ti0.48O3/Ni(PZT/Ni)复合薄膜材料的鼓包样品.采用X射线衍射仪(X-ray diffraction, XRD)表征了PZT/Ni复合薄膜材料的物相结构;利用自主研制的多功能新型鼓包测试平台,在力场、电场、磁场作用下分别测试分析了PZT/Ni复合薄膜材料体系的力电磁耦合性能.结果表明:随着电场强度的增加,PZT薄膜的弹性模量E先增大后减小;PZT/Ni复合薄膜在电场作用下实现了电磁调控,矫顽磁场强度Hc提高了33.4%;随着测试平台油压的增大,PZT薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别增加了17.1%和32.1%,PZT/Ni复合薄膜的矫顽磁场强度提高了46.1%.