AlN压电薄膜换能器性能的仿真研究

• 作者: 李响 马希直
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: AlN薄膜 压电换能器 COMSOL 有效机电耦合系数 品质因数
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 649-653
• 页数: 5页
• 分类号: TN65
• 字数: 4056字
• 语种: 中文

摘要

在压电换能器的制作中,电极对其谐振和反谐振频率、机电耦合系数及品质因数等重要性能有着直接的影响.该文针对AlN压电薄膜复合结构,采用COMSOL Multiphysics有限元软件对电极-AlN-不锈钢结构的三维模型进行了压电-结构耦合分析.基于此模型,通过改变电极厚度、材料及压电层的介电和机械损耗等参数,来研究换能器的性能参数变化,研究结果对后续以不锈钢为基底的压电超声换能器的制作起到了一定的理论指导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马希直	南京航空航天大学机电学院	58	291	10.0	14.0
2	李响	南京航空航天大学机电学院	7	10	2.0	3.0