MEMS惯性器件工程化测试体系研究

• 作者: 乔伟 周建国 徐国平 王甫
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微机电系统 量产 自动化 系统辨识 测试系统
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 64-67,56
• 页数: 5页
• 分类号: U666.1
• 字数: 3770字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2017.06.012

摘要

由于低成本和高可靠性的优势,MEMS惯性器件被广泛用于军事、汽车、消费类电子等领域.但是国内目前无法实现工程化和批量化生产,国产MEMS惯性器件的市场占有率增速缓慢.分析了制约国产MEMS惯性器件工程化的瓶颈,设计了一套用于批量化生产的测试系统,该系统已经过实际生产验证,具有自动化和高效率的优势.该系统能有效降低生产成本,加速解决MEMS惯性器件工程化问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐国平		1	0	0.0	0.0
2	王甫		2	0	0.0	0.0
3	乔伟		4	0	0.0	0.0
4	周建国		2	23	1.0	2.0