基于RTP热处理的Bi/Te多层膜的热电性能

• 作者: 付贤松 孙伟 张建新 李海林 马楷
• 来源期刊: 天津工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: Bi/Te多层薄膜 Seebeck系数 RTP 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 电子信息与自动化
• 页码范围: 68-73
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 4177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-024x.2017.05.014

摘要

为改善薄膜热电材料的热电性能,通过磁控溅射制备多层Bi/Te薄膜材料,并用常压高温环境对样品进行快速热退火(RTP),以期在较短时间内获得更高的热电参数.结果表明:Seebeck系数与功率因数最大值与退火温度呈正相关,在400℃退火2~11min,Seebeck系数极大值为-190.41μV/K,功率因数最大值为8.28 μW/(K2·m);随着退火温度的升高,Seebeck系数、载流子浓度、载流子迁移率、电导率和功率因数的振荡幅度也随之加大,并且载流子浓度与Seebeck系数呈反比关系,与电导率呈正比关系,这说明通过改变材料结构和高温快速退火可以得到较高的热电参数,同时保证薄膜的完整性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙伟	天津工业大学天津市电工电能新技术重点实验室	6	11	2.0	2.0
2	付贤松	天津工业大学天津市电工电能新技术重点实验室	26	145	6.0	11.0
6	张建新	天津工业大学天津市电工电能新技术重点实验室	19	102	6.0	9.0
10	马楷	天津工业大学天津市电工电能新技术重点实验室	1	3	1.0	1.0