氮掺铟锡锌薄膜晶体管的制备及其光电特性

• 作者: 吕英波 宋淑梅 李治玥 杨波波 杨田林 王昆仑 赵继凤 辛艳青
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铟锡锌薄膜晶体管 射频磁控溅射 氮掺杂 界面态密度
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1622-1628
• 页数: 7页
• 分类号: TN321+.5
• 字数: 4157字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20173812.1622

摘要

以P型<100>硅作为衬底,采用射频磁控溅射技术,在室温下制备了氮掺杂氧化铟锡锌薄膜晶体管(ITZO TFTs),研究了氮气流量对氧化铟锡锌薄膜晶体管结构、光学、电学特性以及稳定性的影响.实验结果表明:在不同氮气流量条件下制备的氧化铟锡锌薄膜均为非晶态,在可见光范围内的平均透过率均在90%左右,光学带隙数值在3.28~3.32 eV之间变化.在氮气流量为4 mL/min时制备的ITZO TFTs,有源层与栅极电介质界面处的界面态密度(Nmaxs)仅为4.3×1011 cm-2,场效应迁移率(μFE)为18.72 cm2/(V?s),开关比(Ion/of)为106,亚阈值摆幅(S)为0.39 V/dec,电学性能最优.栅极正偏压应力测试结果表明,该器件具有最强的稳定性.因此,适量的氮掺杂可有效地实现器件氧空位的钝化,降低器件的界面态密度,提高ITZO TFTs的电学性能及稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋淑梅	山东大学空间科学与物理学院	15	40	4.0	6.0
2	吕英波	山东大学空间科学与物理学院	12	51	3.0	7.0
3	王昆仑	山东大学空间科学与物理学院	7	7	2.0	2.0
4	赵继凤	山东大学空间科学与物理学院	3	6	2.0	2.0
5	杨波波	山东大学空间科学与物理学院	2	2	1.0	1.0
6	辛艳青	山东大学空间科学与物理学院	10	32	4.0	5.0
7	李治玥	山东大学空间科学与物理学院	4	4	1.0	1.0
8	杨田林		1	2	1.0	1.0