B270玻璃-TC4钛合金热压阳极键合连接工艺研究

• 作者: 刘加豪 姚尧 张德库 钟煌 韩泽尧
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空热压 玻璃 TC4钛合金 阳极键合
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 674-679
• 页数: 6页
• 分类号: TG453
• 字数: 2848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.07.05

摘要

采用了热压-阳极键合复合连接工艺对B270玻璃/TC4钛合金进行连接,分析了真空热压参数对B270玻璃/TC4钛合金连接界面结构、结合效果的影响,并研究了B270玻璃/TC4钛合金的阳极键合工艺,分析了不同键合工艺参数下的工艺特征.结果表明,当对应的真空热压参数为:T=750℃,t=2 h,P=0.5 MPa,当键合温度T在350~550℃,电场电压V在500~700 V时,有最佳的连接效果.键合界面结构分析发现,整个键合区域是由玻璃-中间过渡层-TC4钛合金的结构组成,界面两侧的化学元素呈梯度分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张德库	南京理工大学材料科学与工程学院	46	241	9.0	14.0
2	刘加豪	南京理工大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
3	韩泽尧	南京理工大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
4	钟煌	南京理工大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
5	姚尧	南京理工大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0