50mm×50mm高性能HgCdTe液相外延材料的批生产技术

• 作者: 周昌鹤 孙士文 孙权志 孙瑞赟 徐超 杨建荣 虞慧娴 魏彦锋
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 液相外延 大尺寸 高性能
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 49-53,59
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2|TN305
• 字数: 3824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2017.01.010

摘要

采用富碲垂直液相外延技术实现了50mm×50mm×3高性能碲镉汞外延材料的制备.外延工艺的样品架采用了三角柱体结构,并设计了防衬底背面粘液的样品夹具.为保证大面积材料的均匀性,工艺中加强了对母液温度均匀性和组分均匀性的控制,50 mm×50 mm外延材料的组分均方差达到了0.0004,厚度均方差达到了0.4 μ,m.在批量生产技术中,加强了对单轮次生长环境的均匀性和生长轮次之间生长条件一致性的控制,同一轮次生长的3片材料之间的组分偏差小于0.000 4,厚度偏差小于0.1 μm,不同生长轮次之间材料的组分之间的波动在±0.002左右,厚度之间的波动在±2 μm左右.工艺中对碲锌镉衬底的Zn组分、缺陷尺寸和缺陷密度也加强了控制,以控制大面积外延材料的缺陷,晶体双晶衍射半峰宽(FWHM)小于30弧秒,外延材料的位错密度小于1×105 cm-2,表面缺陷密度小于5 cm-2.外延材料经过热处理后,汞空位型的P型Hg0.78Cd0.22Te外延材料77 K温度下的载流子浓度被控制在8 ～ 20×1015cm-3,空穴迁移率大于600 cm2/Vs.材料整体性能和批生产能力已能满足大规模碲镉汞红外焦平面探测器的研制需求.