限流元件流导测量技术研究进展

• 作者: 吉康 孙健 张琦 成永军 李得天 杨长青 赵澜
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 气体微流量计 限流元件流导 测量方法
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 76-81
• 页数: 6页
• 分类号: TB771
• 字数: 4073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2017.02.003

摘要

在真空技术应用中,限流元件流导主要用于气体微流量计微小气体流量的产生、提供真空室动态标准压力及真空漏孔的校准.目前测量限流元件流导的方法主要有恒压法、定容法、流量比较法、线性规法、升压法.文章介绍了国内外测量限流元件流导的常用方法,列举了各种测量方法的适用范围和限制因素,并对比不同测量方法的特点.