碳酰氟的研究进展

• 作者: 夏致远 金向华 金小贤
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 碳酰氟 制备 纯化 应用
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 1-3,6
• 页数: 4页
• 分类号: TQ117
• 字数: 2779字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2017.01.001

摘要

碳酰氟是一种应用于半导体设备刻蚀和清洗的新型材料,在有机合成及氟化物的干燥、纯化领域也有重要应用.目前国内外关于碳酰氟的制备报道有很多,根据原料种类大体可分为四类,其中CO作为原料制备碳酰氟是应用最多的方法.作为应用于半导体行业的电子气体,对于纯度有一定的要求,因此碳酰氟的纯化也是制约其工业化应用的重要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金小贤		2	3	1.0	1.0
2	夏致远		2	3	1.0	1.0
3	金向华		7	11	2.0	2.0