真空紫外波段Al膜保护层MgF2的光学常数

• 作者: 周洪军 张壮壮 王占山 王风丽 霍同林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 真空紫外 反射镜 保护层 光学常数 菲涅尔公式 热蒸发
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: X射线光学
• 页码范围: 2823-2828
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2196字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172511.2823

摘要

由于Al膜的保护层MgF2薄膜的光学常数对Al/MgF2高反射镜的性能有极大的影响,本文研究了获取MgF2薄膜光学常数的方法.用热舟蒸发的方法在室温B270基底上镀制了3块不同MgF2厚度的Al/MgF2反射镜样品,通过掠入射X射线小角反射方法表征样品,获得了膜层厚度和粗糙度.在国家同步辐射实验中心计量站测试了入射角为5°时,样品在105~130 nm波段的反射率.在Al、MgF2膜层的厚度和Al的光学常数已知条件下,依据菲涅尔公式,得出了满足某波长处样品反射率的等值曲线,然后从三条曲线的交点得出了MgF2薄膜在108~128 nm波段的光学常数.对比和分析显示:利用此方法得到的108~128 nm波段MgF2薄膜光学常数计算的反射率曲线和实际测试得到的反射率曲线吻合较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	霍同林	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	33	178	9.0	12.0
2	王占山	同济大学教育部先进微结构材料重点实验室	92	640	14.0	19.0
6	周洪军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	221	10.0	13.0
7	王风丽	同济大学教育部先进微结构材料重点实验室	27	135	7.0	9.0
11	张壮壮	同济大学教育部先进微结构材料重点实验室	1	1	1.0	1.0