长波长线列碲镉汞焦平面器件拼接工艺研究

• 作者: 东海杰 张懿 谢珩
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 长波 长线列 碲镉汞 红外焦平面 拼接工艺
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 红外材料与器件
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TN214
• 字数: 1423字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2017.01.011

摘要

长波5000元长线列碲镉汞焦平面器件由5个长波1000元混成芯片在拼接基板上交错排列组成。本文采用拼接互连设备的正贴方法进行单模块与拼接基板的拼接，试验结果表明：该拼接方法的拼接位置精度在X和Y轴方向均小于8μm，在Z轴方向小于15μm，满足需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢珩		8	19	3.0	4.0
2	张懿		6	7	2.0	2.0
3	东海杰		10	33	3.0	5.0