电容式柔性触觉传感器的研究与进展

• 作者: 刘非 孙英 尹泽楠 许玉杰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 触觉传感器 柔性 微电容 电极 介质材料 灵敏度
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 684-693
• 页数: 10页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.10.006

摘要

通过分析电容式触觉传感器的基本工作原理与研究热点,指出了电容式触觉传感器在结构设计中存在着难以兼顾分辨率、测量精度和灵活性的关键问题.参照电容式触觉传感器内的微电容结构,从微电容的电极层、介质层和整体结构等三个方面出发,介绍了国内外电容式柔性触觉传感器近年来在新材料应用、新工艺引入、结构设计和三维力检测等方面的研究进展,提出可调节测量范围与灵敏度的触觉传感器将是进一步研究的热点.最后结合电容式柔性触觉传感器的实际应用,指出了未来的电容式触觉传感器正朝着微型化、集成化、透明化与多功能化等方向发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙英	河北工业大学省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室	42	301	11.0	15.0
2	尹泽楠	河北工业大学省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室	1	7	1.0	1.0
3	许玉杰	河北工业大学省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室	1	7	1.0	1.0
4	刘非	河北工业大学省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室	1	7	1.0	1.0