聚甲基丙烯酸甲酯材质硬X射线组合Kinoform透镜的制作

• 作者: 伊福廷 刘静 常广才 张伟伟 盛伟繁
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: Kinoform镜 X射线聚焦透镜 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) LIGA技术
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: X射线光学
• 页码范围: 2817-2822
• 页数: 6页
• 分类号: O434.19|TN305.7
• 字数: 1634字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172511.2817

摘要

为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能,利用LIGA(Lithographie,Galvanoformung,Abformung)技术,制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材质硬X射线组合Kinoform透镜(CKL),并获得了良好的面形.制备的CKL以宽度为几个微米的细窄线条为主要结构,包括曲面和直角面形,线条最窄宽度为2μm.为保证CKL良好的曲面及直角结构,样品制备分为三部分:过渡掩模板的制备,LIGA掩模板的制备,以及最终样品的硬X射线曝光制备.在LIGA掩模板制备过程中,采用制备有纳米柱阵列的硅衬底有效解决了光刻胶脱胶的问题.在最终样品制备过程中,选用分子量较高的PM M A片作衬底,提高了PM M A刚度,有效缓解了细窄线条的倒塌黏连问题,保证了CKL的良好面形.在北京同步辐射光源(BSRF)成像站测试了CKL透镜的性能,结果显示其对于8 keV的X射线,聚焦焦斑的半高全宽(FW H M)为440 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘静	中国科学院高能物理研究所	279	2786	26.0	43.0
2	张伟伟	中国科学院高能物理研究所	10	153	6.0	10.0
3	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0
4	盛伟繁	中国科学院高能物理研究所	11	16	3.0	3.0
5	常广才	中国科学院高能物理研究所	8	5	2.0	2.0