CO2对金刚石膜结构的影响

• 作者: 刘繁 孙祁 汪建华 翁俊 陈义
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子 CO2/CH4流量比 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 知识与进展
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2471字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2017.01.011

摘要

采用微波等离子化学气相沉积法,使用甲烷、氢气和二氧化碳作为反应气氛进行金刚石膜的沉积研究.实验中通过添加并改变气体组分中CO2/CH4比值金刚石膜在高碳源浓度条件的可控性生长.通过Raman光谱、X射线衍射(XRD)及SEM对金刚石膜的沉积质量,生长取向及表面形貌进行表征.结果表明,在其他参数保持一致时,在高甲烷下,只改变CO2/CH4比值可明显改变金刚石膜的表面形貌并提高金刚石膜的质量,实现纳米、(111)面及(100)面微米金刚石膜的可控性生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	翁俊	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
3	刘繁	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	22	74	4.0	8.0
4	孙祁	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	15	42	3.0	6.0
5	陈义	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	7	2.0	2.0