磁控溅射法制备大晶粒铜锌锡硫薄膜的研究

• 作者: 刘思佳 杨敏 王书荣 赵其琛 郝瑞亭 陆熠磊
• 来源期刊: 云南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: CZTS薄膜 太阳电池 磁控溅射 硫化
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 可再生能源研究
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4+2
• 字数: 2429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7699/j.ynnu.ns-2017-019

摘要

采用磁控溅射Cu、Sn、Zn金属单质靶制备铜锌锡(CZT)金属预制层,在220℃下合金,然后在高温610℃硫化配合低速升温工艺对CZT前驱体进行退火,制备出晶粒尺寸为1～2 μm的Cu2ZnSnS4 (CZTS)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)对薄膜样品进行结构、表面形貌和组分表征.最后沉积缓冲层、ZnO窗口层,蒸镀Al电极,制备出CZTS薄膜太阳电池,测量得到电池开路电压(Voc)为574 mV,短路电流密度(Jsc)为8.98 mA/cm2,填充因子(FF)为37.8％,电池转换效率为1.95％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝瑞亭	云南师范大学太阳能研究所	14	22	3.0	4.0
2	杨敏	云南师范大学太阳能研究所	35	76	5.0	8.0
3	王书荣	云南师范大学太阳能研究所	9	39	3.0	6.0
4	陆熠磊	云南师范大学太阳能研究所	3	3	1.0	1.0
5	赵其琛	云南师范大学太阳能研究所	2	0	0.0	0.0
6	刘思佳	云南师范大学太阳能研究所	2	0	0.0	0.0