多层复合透明导电薄膜研究进展

• 作者: 丁文革 于威 傅广生 刘啸宇 武利平 王佩 蒋树刚 路万兵
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 透明导电薄膜 介质/金属/介质 多层复合 超薄金属薄膜 柔性
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 372-384
• 页数: 13页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N972016-01133

摘要

透明导电薄膜(TCF)兼具良好的导电性和透光性,已作为电极被广泛应用于光电器件领域.目前普遍使用的透明电极主要是铟锡氧化物(ITO)和掺铝氧化锌等透明导电氧化物(TCO)薄膜,但由于ITO的生产需要稀缺原材料铟,而其他TCO薄膜的导电性和可见光透明性尚需提高,并且由于氧化物材料固有的脆性,TCO薄膜的柔性较差,不能完全满足当前柔性电子器件的发展需求.因而,对于具有优异性能的无铟、柔性TCF的研究近年来受到研究者的广泛关注.基于介质/金属/介质结构的多层复合TCF同时具有高的电导率、透光性以及良好的机械柔性,可以满足目前柔性电子器件的应用需求,而且其还具有功函数可通过选择介质层材料调节、可利用连续的卷对卷技术室温下在廉价塑料衬底上沉积等独特优势,因而更具实用价值.本文简要综述了近几年基于介质/金属/介质结构的多层复合TCF的研究工作,首先分析了其透光率和面电阻对各层材料种类及厚度的依赖关系,然后介绍了多层复合TCF的结构类型,接着讨论了改善其综合光电性能的技术,最后分析了其在光电器件领域应用时应考虑的其他重要性质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生		184	817	13.0	17.0
2	于威		91	346	9.0	13.0
3	丁文革		28	80	5.0	8.0
4	路万兵		17	86	6.0	9.0
5	王佩		9	6	1.0	2.0
6	蒋树刚		2	0	0.0	0.0
7	刘啸宇		2	0	0.0	0.0
8	武利平		1	0	0.0	0.0