eXTP望远镜用W/Si多层膜

• 作者: 张众 杨洋 王占山 黄秋实 齐润泽
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: eXTP项目 界面粗糙度 薄膜厚度均匀性 柱面镜 非周期多层膜
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: X射线光学
• 页码范围: 2796-2802
• 页数: 7页
• 分类号: O484.1|TH743
• 字数: 2268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172511.2796

摘要

针对增强型X射线时变与偏振探测卫星(Extp)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求,在掠入射角为0.5°,工作波段为1~30 keV条件下,设计了非周期W/Si多层膜并优化了薄膜制备工艺.首先,利用分隔板和掩模板对溅射粒子进行准直,同时优化了本底真空度和溅射工作气压,提升了薄膜的成膜质量;然后,通过调整分隔板间距和公转速率提升了在柱面基底上薄膜的沉积均匀性;最后,利用幂指数算法设计了非周期多层膜,并在北京同步辐射光源上进行了多能点反射率测试,得到了与理论设计基本吻合的测试结果.基于优化的制备工艺制备了周期数为80,周期为3.8 nm和W膜层厚度占比为0.47的W/Si周期多层膜,其界面粗糙度仅为0.29 nm,柱面镜薄膜厚度误差可控制在3%以内,基本满足了ExTP项目中嵌套式掠入射望远镜镜片用多层膜对于成膜质量、沉积厚度均匀性和能谱响应宽度的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨洋	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所教育部先进微结构材料重点实验室	46	564	13.0	23.0
2	张众	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所教育部先进微结构材料重点实验室	25	122	7.0	10.0
3	齐润泽	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所教育部先进微结构材料重点实验室	2	1	1.0	1.0
4	黄秋实	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所教育部先进微结构材料重点实验室	5	1	1.0	1.0