Pb过量和种子层对PLZT薄膜的影响

• 作者: 丑修建 何剑 刘立 张鹏 王二伟 胡磊
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶(Sol-Gel)法 钙钛矿结构 锆钛酸铅镧(PLZT)薄膜 缓冲层
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 121-125
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TB34
• 字数: 4667字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备不同Pb过量(未过量、10%、15%)和引入不同厚度(0、100 nm、500 nm) 锆钛酸铅(PZT)缓冲层的锆钛酸铅镧(PLZT)反铁电薄膜,通过原子力显微镜、X线衍射表征分析薄膜的微观结构.结果表明,过量10%的Pb组分有助于形成钙钛矿结构,获得较大的晶粒尺寸和理想的粗糙度;100 nm的PZT缓冲层的引入有利于PLZT薄膜晶化,形成较致密、结晶状况良好的薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丑修建	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	49	225	9.0	13.0
2	张鹏	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	112	218	8.0	11.0
3	何剑	中北大学电子测试技术重点实验室	21	25	3.0	3.0
4	刘立	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	6	18	3.0	4.0
5	王二伟	中北大学电子测试技术重点实验室	9	21	3.0	4.0
6	胡磊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	10	2.0	3.0