计量型紫外显微镜实时焦点及倾角测量算法的研究

• 作者: 皮磊 舒慧 董明利 连笑怡 高思田 高金阳
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 紫外显微镜 自动聚焦 倾角测量算法 Tenengrad函数
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 页码范围: 667-670
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2435字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2017.06.02

摘要

计量型紫外光学显微镜采用248 nm深紫外光源和高数值孔径物镜系统,工作距离和景深均很小,为实现清晰的成像,需要进行自动聚焦.因此研究了一种焦点及倾角测量算法,采用基于图像处理的自动聚焦方法,选择Tenengrad函数作为图像清晰度判据,进行清晰度评价.针对在扫描测量时标准样板倾斜与镜片可能会出现相撞的问题,提出了样板倾角测量方法-判断样板的倾斜方向和角度,从而确定物镜执行器的移动方向,实现物镜扫描成像过程中的动态对焦.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	董明利	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	115	399	10.0	16.0
3	连笑怡		5	6	2.0	2.0
4	皮磊		4	6	1.0	2.0
5	舒慧		3	0	0.0	0.0
6	高金阳	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	1	0	0.0	0.0