氧化硅内核结构对核/壳包覆型SiO2/CeO2复合颗粒抛光性能的影响

• 作者: 李泽锋 陈杨 陈爱莲
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 氧化硅 氧化铈 核壳结构 复合颗粒 抛光
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 429-436
• 页数: 8页
• 分类号: TB321|TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.11901/1005.3093.2016.625

摘要

设计合成了以具有放射状介孔孔道(孔径约2.6 nm)的介孔氧化硅(mSiO2)微球(粒径约300 nm)为内核、以CeO2纳米颗粒为包覆层(壳厚为15～20 nm)的mSiO2/CeO2复合颗粒(粒径在330～340nm),使用场发射扫描电镜、透射电镜、X射线衍射、傅里叶转换红外光谱和氮气吸脱附等手段表征了样品的结构.结果表明,使用以实心氧化硅(sSiO2)为内核的sSiO2/CeO2复合颗粒抛光的热氧化硅片其表面粗糙度均方根值(Root-mean-squareroughness,RMS)为0.309nm,材料的去除率(Material removal rate,MRR)为24 nm/min).mSiO2/CeO2复合颗粒有利于得到更低的氧化硅片抛光表面粗糙度(RMS=0.267 nm)和更高的抛光速率(MRR=45 nm/min),且能避免出现划痕等机械损伤.SiO2/CeO2复合颗粒中的氧化硅内核结构,对其抛光特性有明显的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈杨		28	56	4.0	6.0
2	陈爱莲		20	36	3.0	5.0
3	李泽锋		2	3	1.0	1.0