金刚石薄膜的制备研究综述

• 作者: 唐永炳 王陶 黄磊
• 来源期刊: 集成技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 化学气相沉积 形核密度 生长机理 制备方法
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 70-79
• 页数: 10页
• 分类号: TG156
• 字数: 5624字
• 语种: 中文

摘要

金刚石薄膜具有优异的物理化学性质,在耐磨涂层、生物医学、薄膜微传感器、微机电系统等诸多领域有着广阔的应用前景.文章综述了近年来在金刚石薄膜领域研究的最新进展,着重介绍了目前主流的金刚石薄膜制备方法及优缺点,阐述了薄膜的生长机理以及提高金刚石薄膜沉积速率和质量的技术方法,为该领域的研究人员提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄磊	中国科学院深圳先进技术研究院功能薄膜材料研究中心	72	1531	18.0	38.0
2	唐永炳	中国科学院深圳先进技术研究院功能薄膜材料研究中心	13	20	3.0	3.0
3	王陶	中国科学院深圳先进技术研究院功能薄膜材料研究中心	7	109	4.0	7.0