微桥膜换能元结构设计及电阻计算方法

• 作者: 任小明 刘兰 刘卫 张蕊 薛艳 褚恩义 解瑞珍
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: MEMS技术 换能元 结构设计 参数化 电阻
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TJ450.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2017.06.001

摘要

针对微结构换能元设计的规范化问题,从解析几何的基本原理出发,建立微结构换能元参数化结构设计方法,获得不同结构微换能元上、下边界的数学表达式.同时借助于单元离散的基本思想,将微结构换能元离散成有限数量个近似方形的微小单元,依据串、并联电阻值计算方法,建立微结构换能元电阻值分析计算模型,并验证了模型准确性.结果表明,菱形和圆弧边界换能元的电阻值随宽度w、特征角度β或特征半径Rc增加呈幂函数形式减小,随长度l增加呈幂函数形式增加.本研究为换能元的结构设计提供技术支撑.