单晶硅棒截断崩边与平行度差的探讨分析

• 作者: 吕涛 张波 罗晓斌 赵彩霞 辛玉龙
• 来源期刊: 煤
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅棒 截断 崩边 平行度差
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 问题探讨
• 页码范围: 52-53
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.12
• 字数: 2093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2798.2017.11.020

摘要

单晶硅棒在截断过程中,由于各种原因导致单晶圆棒发生崩边或平行度差的问题,严重影响了单晶圆棒的合格率.为了分析并解决该问题,探讨了单晶硅棒截断时发生崩边或平行度差的具体原因及应对措施.除去一般人为的操作不规范外,其中影响单晶硅棒截断时发生崩边或平行度差的因素主要有:夹具、锯带的切割速度及硅棒质量等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张波		5	2	1.0	1.0
2	赵彩霞		1	0	0.0	0.0
3	辛玉龙		1	0	0.0	0.0
4	吕涛		1	0	0.0	0.0
5	罗晓斌		1	0	0.0	0.0