95氧化铝瓷与蓝宝石金属化层对比分析

• 作者: 刘燕文 朱虹 李芬 田宏 肖东梅 薛辽豫 陈亚丽
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波真空电子器件 氧化铝 金属化 玻璃相
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 电子陶瓷和封接工艺专辑
• 页码范围: 46-50
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3679字
• 语种: 中文

摘要

本文采用扫描电镜和能谱研究了不同温度下烧结的95％氧化铝陶瓷和蓝宝石(单晶氧化铝陶瓷)金属化层形貌与元素成分组成,对其金属化现象进行了实验分析.实验结果表明,低温条件(1300℃)下进行烧结,95％氧化铝陶瓷和蓝宝石的金属化层成分与原金属化粉差异不大,金属化层与基体没有互溶作用,金属化层中的锰元素与氧化铝结合形成锰铝尖晶石;高温条件下(1470℃)进行烧结,金属化层中的玻璃相与95％氧化铝陶瓷玻璃相有相互扩散迁移现象;蓝宝石不含玻璃相,且蓝宝石的致密度大于95％氧化铝陶瓷,蓝宝石金属化层中的玻璃相很难向单晶结构的蓝宝石内部扩散.在实验研究的基础上提出了提高蓝宝石金属化质量的技术措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱虹	中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心	22	140	6.0	11.0
2	田宏	中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心	43	278	9.0	15.0
3	陈亚丽	中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心	8	266	4.0	8.0
4	李芬	中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心	41	544	12.0	22.0
5	肖东梅	中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心	5	36	3.0	5.0
6	薛辽豫	中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心	2	2	1.0	1.0