薄膜热膨胀系数测试技术研究

• 作者: 唐永炳 石磊 蒋春磊 陈光海
• 来源期刊: 集成技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 热膨胀系数 弹性模量 残余应力
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 49-60
• 页数: 12页
• 分类号: TG156
• 字数: 4570字
• 语种: 中文

摘要

热膨胀系数是薄膜的重要热学性能参数,也是薄膜热应力和残余应力计算分析过程中的关键数据.文章基于热诱导弯曲原理,分别采用单基片法和双基片法对氮化钛(TiN)和铝(Al)薄膜的热膨胀系数进行测试,并着重对双基片法的测试误差和适用性进行了分析.研究结果表明,薄膜在不同材质基底上弹性模量的差异是影响双基片法薄膜热膨胀系数测试精度的重要因素.当不同材质基片上薄膜弹性模量差异较小时,双基片法测得的热膨胀系数与单基片法所获结果基本一致;而当不同材质基片上薄膜弹性模量相差较大时,双基片法将不再适用.此外,文章结合薄膜的形貌、结构和残余应力表征测试,对TiN和Al薄膜热膨胀系数与其块体材料的差异进行了分析,结果显示残余压应力会导致薄膜热膨胀系数增大,而残余拉应力则具有相反的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石磊	中国科学院深圳先进技术研究院	83	775	17.0	24.0
2	唐永炳	中国科学院深圳先进技术研究院	13	20	3.0	3.0
3	蒋春磊	中国科学院深圳先进技术研究院	5	9	2.0	2.0
4	陈光海	中国科学院深圳先进技术研究院	1	2	1.0	1.0