无铅压电叠层驱动器极化工艺及驱动性能研究

• 作者: 任广林 史翔 姚萌 安群力 杜慧玲
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 无铅压电陶瓷 正交实验 极化工艺 叠层驱动器 位移放大机构
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 92-96
• 页数: 5页
• 分类号: TM359.9
• 字数: 3279字
• 语种: 中文

摘要

为提升Na0.5Bi0.5TiO3-K0.5Bi0.5TiO3(NBT-KBT)系无铅压电陶瓷压电性能,开发新型无铅压电叠层驱动器,该文采用单因素方差分析与正交试验设计方法优化研究了0.8NBT-0.2KBT压电陶瓷的极化工艺,最优极化工艺为极化电场6 kV/mm,极化温度70 ℃,极化时间50 min,保压时间21 min,测得压电系数d33达到108 pC/N;制备了无铅陶瓷叠层驱动器,并基于三角放大原理和柔性铰链结构设计一种新型外置放大机构,分别对有无外置放大机构的叠层驱动器微位移量进行对比测试,结果表明,与有外置放大机构的叠层驱动器相比,直接驱动的叠层驱动器位移量放大了3.7倍,在150 V驱动电压下位移量达到25 μm.这种无铅压电陶瓷驱动器具有大位移量、稳定性及低成本等特性,有望应用于微精密定位系统领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜慧玲	西安科技大学材料科学与工程学院	59	209	8.0	11.0
2	史翔	西安科技大学材料科学与工程学院	26	117	8.0	9.0
3	安群力	西安科技大学材料科学与工程学院	4	23	2.0	4.0
4	任广林	西安科技大学材料科学与工程学院	4	4	1.0	1.0
5	姚萌	西安科技大学材料科学与工程学院	2	3	1.0	1.0