尺蠖压电驱动器的设计及迟滞补偿控制方法

• 作者: 曾佑轩 王坤 蒋晨阳 马立
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 尺蠖 压电驱动器 迟滞非线性 Preisach模型 PID控制
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 驱动控制
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TP384|TP273
• 字数: 2876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2017.12.009

摘要

设计了一种基于柔性放大原理的尺蠖压电驱动器,驱动器动子钳位部分采用对称式杠杆放大结构,中间驱动部分采用复合桥式结构.根据尺蠖压电驱动器迟滞非线性特点,在模型分析基础上,建立Preisach模型,确定逆Preisach迟滞模型的开环控制方法,并采用前馈PID方法实现闭环控制.搭建了尺蠖压电驱动器的开环实验系统,实验结果显示:尺蠖压电驱动器在开环控制下位移跟踪最大误差为2.9 μm;当跟踪位移为80 μm连续运动20个步距时,正反向行程的平均误差为2.1μm;当驱动电压为5V时,获得最小步距1.5μm.同时,搭建了尺蠖压电驱动器的闭环实验系统,在该系统上进行前馈PID控制实验,闭环控制条件下,系统位移跟踪的最大误差为1.4 μm,驱动器的定位精度得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马立	上海大学机电工程与自动化学院	34	275	8.0	16.0
2	王坤	上海大学机电工程与自动化学院	9	47	4.0	6.0
3	曾佑轩	上海大学机电工程与自动化学院	4	5	2.0	2.0
4	蒋晨阳	上海大学机电工程与自动化学院	1	0	0.0	0.0