单电子晶体管与原子力扫描探针的集成

• 作者: 俞圣雯 刘永涛 张志鹏 李欣幸 秦华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单电子晶体管(SET) 原子力扫描探针 绝缘体上硅(SOI) 台阶型针尖 石英音叉
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 413-418
• 页数: 6页
• 分类号: TN325.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.06.009

摘要

单电子晶体管(SET)可用作超灵敏电荷计,将SET集成到原子力扫描探针上,可得到对被测样品的表面形貌和电荷空间分布扫描成像.介绍了一种硅基台阶型原子力扫描探针与SET的集成方案.一对共漏极的SET集成在台阶型针尖上,台阶型的针尖和静电探针的设计避免了SET的刻蚀损伤.通过SET和静电探针的电容耦合来实现电荷探测.将扫描探针与石英音叉进行组装,在8K低温下成功实现了间距2μm金属光栅10°倾角的形貌扫描,并获得形貌图,针尖上的SET具有良好的库仑阻塞效应和单电子隧穿特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	俞圣雯	上海大学材料科学与工程学院	7	29	2.0	5.0
2	李欣幸	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室	4	10	2.0	3.0
3	秦华	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室	7	38	3.0	6.0
4	张志鹏	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室	5	17	2.0	4.0
5	刘永涛	上海大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0