电子轰击材料出气性能

• 作者: 刘燕文 孟鸣凤 朱虹 李芬 田宏 谷兵 赵丽
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微波真空电子器件 电子轰击 材料出气 放气速率 电离规管
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 363-368
• 页数: 6页
• 分类号: TN105
• 字数: 3681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.04.04

摘要

固体材料在大气中会溶解、吸附一些气体,当材料置于真空环境下,就会因气体解溶、解吸、电子轰击等而发生放气.电真空微波器件广泛应用于加速器、卫星通信、可控热核聚变、全球定位及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,其制造过程中非常关键的步骤是真空获得.为提高微波电真空器件研制过程中的管内真空水平,本文研制了高精度真空材料放气测试装置.系统采用小孔流导法测试出气率,极限真空低于5.0×10-7 Pa.利用本装置进行了电子轰击材料出气的试验研究.实验表明无氧铜在脉冲电子束轰击下出气速率与电压 、频率、脉宽成正比;电子轰击的材料暴露大气后,在电子束轰击下出气速率在短时间内迅速降低到以前的放气率水平.采用四级质谱仪对电子轰击时真空室内的残余气体成分进行了分析,其主要成分为H2(2),其它成份依次为H2O(18),N2(28),和CO2(44).对电子轰击材料出气机理进行了分析.金属电离规管进行的电子轰击除气实验研究也证明了这些实验结果.因此利用热阴极或电子枪作为电子发射源,对微波电真空器件收集极、阳极等金属材料进行电子轰击除气,将是制造长寿命高可靠微波电真空器件所必要且可行的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱虹	中国科学院电子学研究所	22	140	6.0	11.0
2	田宏	中国科学院电子学研究所	43	278	9.0	15.0
3	刘燕文	中国科学院电子学研究所	36	200	9.0	12.0
4	赵丽	中国科学院电子学研究所	14	115	6.0	10.0
5	李芬	中国科学院电子学研究所	41	544	12.0	22.0
6	孟鸣凤	中国科学院电子学研究所	13	78	5.0	8.0
7	谷兵	中国科学院电子学研究所	11	40	4.0	5.0