大粒径SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石试验研究

• 作者: 吕冰海 吕迅 彭超飞 曹霖霖 王洁 袁巨龙
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: SiO2 氯氧镁结合剂 固结磨具 大粒径 蓝宝石 固相反应
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 表面质量控制及检测
• 页码范围: 258-263
• 页数: 6页
• 分类号: TH161+.1
• 字数: 3018字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.04.042

摘要

目的 验证大粒径(>30μm)SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石晶片的有效性,优化磨具配方,为实现蓝宝石晶片高效、高质量、低成本加工提供有效参考.方法 制作不同配方的氯氧镁结合剂SiO2固结磨具加工蓝宝石,以去除率、表面粗糙度为评价指标,研究磨粒粒度、结合剂比例、磨粒含量对加工效果的影响.结果 6种不同粒径(均>30μm)的SiO2磨粒固结磨具加工蓝宝石,表面粗糙度均有改善,粒径越小,改善效果越好.结合剂中,活性MgO、MgCl2和H2O三者的摩尔比会影响去除率和粗糙度.磨具磨粒的含量高,去除率高,粗糙度小.结论氯氧镁结合剂中,活性MgO:MgCl2:H2O的摩尔比为7:1:16,325#SiO2为磨粒,磨粒质量占结合剂质量的60%,制作磨具加工蓝宝石,转速210 r/min,加载0.4 MPa,加工3 h,去除率为平均17μm/h,表面粗糙度Ra由初始平均345 nm改善至平均9 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁巨龙	浙江工业大学超精密加工研究中心	116	1467	19.0	35.0
2	吕迅	浙江工业大学超精密加工研究中心	19	123	6.0	10.0
3	吕冰海	浙江工业大学超精密加工研究中心	51	710	11.0	26.0
4	王洁	浙江工业大学超精密加工研究中心	18	30	3.0	4.0
8	曹霖霖	浙江工业大学超精密加工研究中心	2	3	1.0	1.0
9	彭超飞	浙江工业大学超精密加工研究中心	1	3	1.0	1.0