一种牺牲层工艺中金属电极保护方法研究?

• 作者: 唐彬 张照云 彭勃 熊壮 苏伟 陈颖慧
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微加速度计 牺牲层刻蚀 金属电极保护
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2017.01.001

摘要

为了在牺牲层工艺中保护金属电极不被腐蚀,提出了一种利用铝层保护金属电极的方法。在试验中采用了两种铝保护层厚度300 nm和1μm,在两种腐蚀液体4NH4F∶1HF∶2甘油和1HAC∶1NH4F中进行了试验,通过试验表明,铝金属层在两种腐蚀液体中都能够有效保护金属电极,延长牺牲层的腐蚀时间。最后,通过SOI微加速度计加工工艺进一步验证了该方法的有效性。