硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状

• 作者: 刘楠 司朝伟 宁瑾 童鑫 苏言 韩国威
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械系统(MEMS) 陀螺仪 零偏稳定性 温度补偿 软件算法补偿
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 395-400
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TN306
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.06.006

摘要

综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状.介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性.分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不足.介绍了算法补偿中两种常用的温度误差模型构建方法,算法补偿既符合小体积、低成本的设计理念,又能有效提升陀螺仪的温度稳定性,但复杂的算法需要强大的内存支撑,系统的响应速度亦会受到影响,因此在算法的优化设计方面仍有巨大的研究潜力和空间.随着陀螺仪数字化进程的不断推进,温度误差模型构建的标准化方法以及优化的算法是未来进一步的发展方向.