不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响

• 作者: 叶小球 李芳芳 王维 罗文华 钟博扬 陈长安
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空漏孔 漏率 校准 粘滞-分子流
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 345-350
• 页数: 6页
• 分类号: TB77
• 字数: 3851字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.04.01

摘要

针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10-6 Pa·m3/s的标准真空漏孔在使用H2、He、D2三种气体时,在不同入口压力下的漏率.预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小,并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响.结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔漏率的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王维	四川大学原子与分子物理研究所	49	247	8.0	15.0
2	李芳芳		7	26	2.0	5.0