利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度

• 作者: 岳巾英 李素文 王泰升
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 功率谱密度(PSD) 表面粗糙度(Ra) 离子束抛光
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 208-211
• 页数: 4页
• 分类号: TN205
• 语种: 中文

摘要

利用功率谱密度(PSD)评价光学表面粗糙度具有传统评价手段(Ra)所不具备的优势.给出了功率谱密度的计算方法,以及抽样方向与一维PSD曲线的关系.在离子束抛光K9玻璃实验中引入PSD曲线,以评价抛光光学零件的光学表面粗糙度,结合PSD曲线与Ra值能够更全面的指导光学加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳巾英	长春工程学院理学院	10	22	3.0	4.0
2	李素文	长春工程学院理学院	11	25	3.0	4.0
3	王泰升	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光电技术研发中心	6	49	4.0	6.0