合成CVD金刚石涂层用硬质合金基体预处理工艺优化研究

• 作者: 解亚娟 许晨阳 邓福铭 陈立 雷青
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石涂层 表面预处理 工艺优化 硬质合金基体
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 682-687
• 页数: 6页
• 分类号: TQ164|TG74
• 字数: 3421字
• 语种: 中文

摘要

以CH3COCH3和H2为反应气源,采用热丝CVD法在经过两步法和三步法预处理的YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层.利用扫描电子显微镜和能谱仪分析检测预处理后的YG6基体的表面形貌和钴含量,通过对比三步法与两步法的预处理结果确定三步法最佳工艺.利用扫描电镜、X射线衍射仪和硬度计检测所得金刚石涂层的表面形貌、结晶性和膜基结合性.结果表明:三步法最佳工艺为先采用酸溶液腐蚀20 s,然后采用碱溶液腐蚀20 min,最后继续用酸溶液腐蚀3 min.三步法预处理后的YG6基体获得的金刚石薄膜生长更加均匀致密,晶粒取向更高,膜基结合性能更好.