基于PTFE基材的FAIMS传感器设计

• 作者: 丁庆行 刘军 赵东杰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高场非对称波形离子迁移率谱 电晕放电 离子源 甲基膦酸二甲酯
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1636-1642
• 页数: 7页
• 分类号: TP393
• 字数: 5320字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.11.004

摘要

为降低FAIMS传感器制作的复杂度与成本,设计了一种基于PTFE基板的FAIMS传感器.该传感器由漂移管、离子源及外围电路组成.其中漂移管基于PTFE基板构建,使用PCB工艺制备Au电极,利用厚度为0.4 mm氧化铝条作为绝缘支撑片将上下电极隔离并形成通道,用于离子分离与检测,漂移管的总体积1.9 cm3.离子源通过针-网式电晕放电建立,通过软焊接工艺连接到FAIMS上基板.外围电路包括FAIMS工作所需的高频高压非对称电场及补偿电场产生电路和微弱离子电流放大电路.常温下,传感器响应恢复时间小于3 s.利用化学战剂模拟剂甲基膦酸二甲酯DMMP(Dimethyl Methylphosphonate)测试了传感器的灵敏度,实现了0.5 μg/m3的量级DMMP样品的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘军	北京物资学院信息学院	75	467	12.0	18.0
5	丁庆行	北京物资学院信息学院	6	5	2.0	2.0
9	赵东杰	北京物资学院信息学院	9	15	2.0	3.0