电流密度对微/纳结构电铸成型模芯质量的影响

• 作者: 吕辉 杨冬娇 王飞 翁灿 蒋炳炎
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 微/纳结构 电铸 电流密度 模芯
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 52-58
• 页数: 7页
• 分类号: TQ153.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2016.000104

摘要

利用多物理场耦合分析软件COMSOL Multiphysics,模拟微/纳结构电铸过程中阴极表面的电场分布,研究不同电流密度下微/纳结构表面的电场分布及电铸层生长前沿情况.仿真结果表明:采用较低的初始电流密度,可有效改善微/纳结构生长前沿铸层厚度的均匀性.选用纳米光阑和纳米柱阵列2种微/纳结构母板进行电铸实验,将初始电流密度从4A/dm2调至1A/dm2,纳米光阑母板成型最大误差60nm降至±20nm之内.通过合理设置初始电流密度、增强阴极表面溶液流动强度等措施,纳米柱阵列模芯特征直径尺寸误差由6.27%下降至2.49%,有效提高电铸模芯的复制质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕辉	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	15	91	5.0	9.0
5	翁灿	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	16	69	4.0	7.0
9	王飞	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	22	104	6.0	9.0
13	杨冬娇	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	3	5	2.0	2.0