溅射靶材用高纯钌粉制备技术研究及进展

• 作者: 操齐高 易伟 赵盘巢 郭磊 陈家林
• 来源期刊: 贵金属
• 学科: 工学
• 关键词: 钌靶 钌粉 氯钌酸铵
• 年，卷（期）: 2017,（z1）
• 所属期刊栏目: 贵金属合金材料
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.3+8
• 字数: 5428字
• 语种: 中文

摘要

电子工业生产钌靶对所用的钌粉纯度(99.999%)、分散性、形貌和尺寸等有悀格的要求.国内目前只能在实验室制备出高性能的钌粉,尚未应用于生产,在制备高性能钌粉方面与国外有较大差距,且国内钌靶用钌粉主要依靠进口.通过分析和总结了国内外钌靶用钌粉的生产方法、工艺和测试方法,并对国内钌靶用钌粉的制备提出了建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	操齐高		43	33	3.0	4.0
2	赵盘巢	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室	7	3	1.0	1.0
4	陈家林	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室	19	87	5.0	9.0
7	郭磊	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室	1	1	1.0	1.0
8	易伟	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室	1	1	1.0	1.0