一种消除后表面反射干扰的新型PMD面形检测技术

• 作者: 李大海 王琴 章涛 鄂可伟 金成英
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 相位测量偏折术 光学面形检测 后表面反射 多频条纹偏折术 谱估计
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 16-24,29
• 页数: 10页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文

摘要

相位测量偏折术(PMD)是一种结合光线反射原理和条纹相位编码的光学面形检测方法,具有设备简单、成本低廉、稳定抗干扰等优点.但传统的偏折术需要对透明元件后表面进行黑化或粗糙化处理,以避免后表面反射对条纹相位提取的干扰,过程中可能损伤光学表面.分析了PMD面形检测方法用于透明元件检测的数学模型,提出了一种基于多频条纹反射和谱估计算法的新型PMD-多频条纹偏折术,分离了透明元件前后表面反射信号.从数字信号分析角度描述了谱估计方法分离精度的影响因素,并给出了分离结果优化的具体方案.进行了数值模拟和实验验证,取得了与基于相移的传统PMD非常接近的检测结果,证明了多频条纹偏折术的正确性和可行性.实验结果表明,该技术具有精度高、无需改变现有实验装置和待测元件的优点,为透明元件的无损静态检测提供了可靠的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李大海	四川大学电子信息学院	70	689	14.0	24.0
2	王琴	四川大学电子信息学院	49	179	8.0	11.0
3	鄂可伟	四川大学电子信息学院	9	17	3.0	3.0
4	章涛	四川大学电子信息学院	3	5	1.0	2.0
5	金成英	四川大学电子信息学院	2	2	1.0	1.0