掺杂硅纳米梁谐振频率的理论模型及分子动力学模拟

• 作者: 王静 马霞
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 单晶硅纳米梁 谐振频率 掺杂 温度
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 243-250
• 页数: 8页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.106103

摘要

通过理论计算与模拟,研究分析了P元素替代掺杂单晶硅纳米梁的谐振频率.计算模拟了两端固支单晶硅纳米梁的谐振频率随尺寸、掺杂浓度与温度的变化.通过对计算结果与模拟结果的分析得到:单晶硅纳米梁的谐振频率随着硅纳米梁长度尺寸的增大而减小;硅纳米梁的谐振频率随着掺杂浓度的增大而增大,但变化趋势并不明显;最后考虑了温度效应,发现掺杂硅纳米梁的谐振频率随着温度的增大而减小,但从谐振频率的数值来看,硅梁的谐振频率随温度的变化趋势并不明显,即温度对硅梁谐振频率基本无影响.由此得出结论:掺杂浓度与温度对硅纳米梁谐振频率的影响很小,影响单晶硅纳米梁谐振频率的主要因素是尺寸大小,掺杂单晶硅纳米梁的谐振频率具有尺寸效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王静	新疆大学物理科学与技术学院	39	101	5.0	8.0
2	马霞	新疆大学物理科学与技术学院	1	3	1.0	1.0