OLED封装材料气体渗透率的静态积累式进样质谱法测量

• 作者: 付朝晖 吴启鹏 李军建 王春勇
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 质谱法 静态积累式进样 OLED封装材料 灵敏度
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TB771
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.03.08

摘要

如何测量封装材料的气体渗透率是OLED封装技术研究中的一个重要问题.本文提出了静态积累式进样质谱法来测量OLED封装材料的气体渗透率,设计了静态积累式进样质谱法测量系统,对柔性OLED封装材料PET薄膜的气体渗透率进行了测量,并分析了测量系统的灵敏度,结果表明,静态积累式进样质谱法测量OLED封装材料气体渗透率是可行的,且渗透时间为100天时,静态积累式进样质谱法对水蒸气的测量灵敏度可达4×10-s g/m2day.如果渗透时间进一步延长,静态积累式进样质谱法的测量灵敏度有望达到理想的1 10-6g/m2·day量级.对比动态抽除式进样质谱法,静态积累式进样质谱法的灵敏度提高了1-2个数量级,有效提升了质谱法的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军建	电子科技大学光电信息学院	20	119	6.0	10.0
2	吴启鹏		5	4	1.0	1.0
3	付朝晖		16	20	3.0	3.0
4	王春勇		10	7	2.0	2.0