中红外波段仿蛾眼表面高斯面形抗反射微纳结构优化

• 作者: 付跃刚 温春超 董亭亭 郭旭东 陈驰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 时域有限差分法 高斯面形 仿生蛾眼抗反射结构 最优化参数 公差分析
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 其它
• 页码范围: 538-543
• 页数: 6页
• 分类号: O485|TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.05.17

摘要

基于严格耦合波分析理论,设计中波红外波段3~5 μm的仿生蛾眼表面高斯面形周期阵列抗反射微纳结构,用三维有限时域差分法进行仿真模拟优化,分析了结构阵列周期、占空比、刻蚀深度对反射率和透过率的影响,比较高斯面形、抛物面形、圆锥形结构模型抗反射效果,给出了最优化参数组合.分析了加工过程中周期、占空比和刻蚀深度以及外部形状轮廓偏差对蛾眼微纳结构的影响,给出了在要求抗反射效果下允许的结构参数公差尺寸范围和建议加工尺寸,结果得到的抗反射结构反射率低于3%~5%,透过率高于90%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付跃刚	长春理工大学光电工程学院	106	456	10.0	15.0
2	温春超	长春理工大学光电工程学院	2	5	1.0	2.0
3	董亭亭	华中光电技术研究所武汉光电国家实验室	1	0	0.0	0.0
4	陈驰	华中光电技术研究所武汉光电国家实验室	1	0	0.0	0.0
5	郭旭东	长春理工大学光电工程学院	2	5	1.0	2.0